1800度高溫升降式爐：晶棒退火爐
- 別稱：晶棒退火爐
- 類型：高溫電爐系列
- 溫度：
- 規(guī)格：
產(chǎn)品詳情
1800℃高溫升降式退火爐為晶棒退火爐、晶片退火爐。該1800℃高溫升降式退火爐可選智能電動(dòng)升降式、單向、雙向軌道、絲桿、電動(dòng)升降式。
1800℃高溫升降式退火爐采用1900型硅鉬棒為加熱元件，加熱元件分布四周，熱場(chǎng)溫度均勻；氧化鋯纖維做保溫與爐膛材料；以及特制的傳感器，控制系統(tǒng)為全自動(dòng)（PLC）工控系統(tǒng)+觸摸屏+工控機(jī)；使用溫度1800℃，長(zhǎng)期使用溫度1750℃，恒溫時(shí)間不限；節(jié)能環(huán)保；采用雙殼體設(shè)計(jì)、配有風(fēng)冷系統(tǒng)，可使?fàn)t殼表面溫度低，更換方便，使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
主要特點(diǎn)：
1、節(jié)能環(huán)保；
2、使用溫度高，恒溫時(shí)間不限；
3、爐門(mén)設(shè)計(jì)獨(dú)特，裝卸料快捷；
4、加熱元件分布四周，熱場(chǎng)溫度均勻；
5、爐殼表面溫度低，使用壽命長(zhǎng)，更換方便等優(yōu)勢(shì)。
晶棒退火爐 Crystal bar annealing furnace
主要技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) |
CBF1800 單向退火爐 |
CBF1800 雙向退火爐 |
CBF1650 單向退火爐 |
CBF1650 雙向退火爐 |
|
有效工作區(qū) 尺寸（mm） |
860*340*300 | 860*340*300 | 860*420*450 | 860*420*450 |
| 額定功率 | 57KVA | 57KVA | 57KVA | 57KVA |
| 每爐裝載量 |
4寸晶棒約 5800mm |
4寸晶棒約 5800mm |
4寸晶片約 9000mm |
4寸晶片約 9000mm |
| 額定溫度 | 1750℃ | 1750℃ | 1600℃ | 1600℃ |
| 加熱元件 |
U型1900型硅鉬棒 |
U型1900型硅鉬棒 |
U型1800型硅鉬棒 |
U型1800型硅鉬棒 |
| 控制精度 | 士0.5℃ | 士0.5℃ | 士0.5℃ | 士0.5℃ |
| 控溫方式 | 50 段PID智能程序控溫，可編程序控制器（PLC）控制＋觸摸屏＋工控機(jī) | |||
| 保溫材料 | 氧化錯(cuò)纖維 | 氧化錯(cuò)纖維 | 氧化鋁纖維 | 氧化鋁纖維 |
|
移動(dòng)軌道行 程速率 |
1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 | 1040.4mm/分 |
|
升降平臺(tái)行 程速率 |
92.8mm/分 | 92.8mm/分 | 92.8mm/分 | 92.8mm/分 |
| 操控方式 | 手動(dòng)與自動(dòng) | 手動(dòng)與自動(dòng) | 手動(dòng)與自動(dòng) | 手動(dòng)與自動(dòng) |
| 工作電壓 |
電爐加熱380V 儀表工作220v |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
電爐加熱380V 儀表工作220V |
| 運(yùn)行機(jī)構(gòu) |
絲桿、軌道、電 動(dòng)運(yùn)行 |
絲桿、軌道、電 動(dòng)運(yùn)行 |
絲桿、軌道、電動(dòng) 運(yùn)行 |
絲桿、軌道、電 動(dòng)運(yùn)行 |
1800℃晶棒退火爐是藍(lán)寶石晶棒、晶片退火，特種陶瓷燒結(jié)，其它超高溫行業(yè)燒結(jié)，各大科研院校和質(zhì)檢單位的高溫退火設(shè)備。可根據(jù)用戶生產(chǎn)需求訂制同款式非標(biāo)型號(hào)設(shè)備。
通過(guò)幾年以來(lái)藍(lán)寶石晶棒退火實(shí)踐證明，在加工切片前必須要進(jìn)行退火流程來(lái)解決晶體應(yīng)力所導(dǎo)致的不良情況。
藍(lán)寶石晶棒退火目的是什么？
在高溫（1750℃）加熱狀態(tài)下，通過(guò)高溫促使晶體晶格打亂后重新排列，同時(shí)清除一些晶格內(nèi)部缺陷，從而釋放內(nèi)部應(yīng)力，為后續(xù)加工奠定良好的基礎(chǔ)。
晶體退火恒溫時(shí)間為36小時(shí)；每爐次退火時(shí)間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后，晶片翹曲低于1絲，線弓小于2毫米、內(nèi)應(yīng)力、崩邊現(xiàn)象及線痕精準(zhǔn)度得到很大的提升；加工后的晶片成品率也達(dá)到了95%以上。成品率提高了，成本又降低了很多，同時(shí)延長(zhǎng)了晶棒的切割線的使用壽命。
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