小型PECVD管式爐系統：實驗室小型PECVD系統
小型PECVD管式爐系統為實驗室用小型PECVD系統，PECVD系統（等離子增強化學氣相沉積系統）由高溫管式爐、真空系統、3路質子流量控制和射頻電源四大模塊組成，可加預熱爐。
本設備借助13.56Mhz的射頻輸出使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內形成等離子體，利用等離子的強化學活性，改善反應條件，使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應，從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術，然后得到基片上沉積出所期望的薄膜。
電爐名稱：1200℃小型PECVD管式爐系統:
爐管尺寸：φ40--φ100mm
電爐結構：普通管式爐、滑動管式爐
溫區長度：300mm/440mm
設計溫度：1200℃
控溫精度：±1℃
混氣系統：2路質子混氣室、3路質子混氣室、5路質子混氣室
設備特點：
1、CVD管式爐系統由高溫管式爐、真空獲得、3路質子流量控制和射頻電源
2、管式爐可選擇不同的管徑和恒溫區的長度、電爐結構（普通管式爐、滑動管式爐），爐管兩端裝有高真空不銹鋼密封法蘭；
3、真空系統可根據試驗要求選擇不同的真空泵，旋片式機械真空泵真空度≤0.098Mpa，分子泵真空機組真空度1×10-4pa；
4、氣路供氣系統可選擇3路浮子手動和3路自動質量流量系統
5、真空測量為數字復合真空機或皮拉尼真空計
6、等離子體放電選擇13.56Mhz的設備電源，功率輸出可選擇200W、300W和500W
7、管式爐可選擇單溫區300mm和440mm，也可選擇三溫區或多溫區進行溫度的梯度試驗
8、溫控器內置的RS485數字通信端口和USB適配器作為可選配置，可連接PC，用于系統的遠程控制和監視，還可以保存或導出測試結果。
小型PECVD管式爐系統型號參數（普通爐型）：
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型號規格 |
STR-PECVD40-12 |
STR-PECVD60-12 |
STR-PECVD80-12 |
STR-PECVD100-12 |
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爐管尺寸 |
Φ40x 1200mm |
Φ60 x 1200mm |
Φ80x1200mm |
Φ100x 1200mm |
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設計溫度 |
1200℃ |
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工作溫度 |
1100℃ |
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溫區長度 |
300mm/440mm |
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電源電壓 |
220V/1.8KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
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加熱元件 |
HRE鐵鉻鋁合金電阻絲 |
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爐膛材料 |
濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料 |
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爐管材料 |
石英管 |
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控溫精度 |
±1℃ |
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測溫元件 |
K型熱電偶 |
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溫控儀表 |
智能智能溫控儀表+PID控制，SCR/SSR控制，PID參數自整定功能； 可編程序30個時段，程序升溫、程序保溫、程序降溫 |
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升溫速度 |
1-25℃/min自由調節 |
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爐體結構 |
爐膛溫控一體式結構，爐膛開合式；雙層爐體外殼，空氣循環隔熱 |
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密封性能 |
爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭，配套高溫 PTFE 墊圈，可在真空下進行工作， 真空度≤0.098Mpa（旋片式真空泵） |
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射頻電源 |
頻率：13.56 MHz±0.005%，功率：5W-500W，功率穩定性 ：±0.5% |
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氣體控制 |
可選擇3路浮子手動流量計，量程60-600ml /min；3路自動質量流量計，量程1-500sccm |
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氣氛性能 |
法蘭兩端有進氣口和出氣口，壓力表裝在金屬法蘭上，精密針型閥可調節進氣和出氣量， 可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護氣體 |
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氣路接口 |
KF25真空擋板閥和KF25不銹鋼波紋管連接真空泵； 保護氣氛6mm不銹鋼卡套接頭和PTFE管路 |
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設備保護 |
模塊化控制，對工作過程中的超溫、斷偶會發出聲光報警信號，并自動完成保護動作 |
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人員保護 |
在設備上裝有空開斷路器，如發生短路漏電情況時會自動彈開，能保護設備和操作人員 |
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爐體外殼 |
加厚冷軋鋼板數控機床下料加工，經過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉 |
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質量認證 |
ISO9001，付費可認證CE、SGS、TUV |
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